Надежные средства откачки для тяжелых условий микроэлектронной промышленности

Сухие форвакуумные насосы GLR

Сухие насосы серии GLR (Grand Light Roots) многоступенчатый Рутс, которая имеет такие преимущества, как низкое энергопотребление, компактность и высокая скорость откачки.
Это новейший продукт Grand hitek, который предназначен для откачки шлюзовых камер, измерительных систем, установок вакуумного осаждения и других технологических процессов без применения агрессивных газовых смесей. Серия GLR предлагает широкий диапазон насосов со скоростями откачки от 120 до 3 000 м3/ч.

Основные особенности

  • низкий уровень шума, плавная работа, низкая вибрация
  • высокая системная интеграция с безопасной и надежной работой
  • увеличенный срок службы за счёт низкой температуры двигателя
  • разработаны для «light» процессов
  • могут работать без продувки азотом

Технические характеристики

Модель GLR-120 GLR -500 GLR -650 GLR -2000 GLR -3000 GLR -5000
Скорость откачки (м3/ч) 110 500 650 2300 3380 4500
Предельное давление (мбар) 0,03 0,01 0,05 0,007 0,007 0,008
Входной фланец (ISO) 63 100 100 160 160 160
Выпускной фланец (NW) 25 50 50 50 50 50
Напряжение питания (В) 208/380 208/380 208/380 208/380 208/380 380
Номинальная мощность (кВт) 2,2 15 15 26 26 30
Рабочая мощность (кВт) 0,6 5,7 5,7 6,7 6,7 7,5
Расход охл. жидкости (л/мин) 1.5 6 6 6 6 6
Поток газа продувки, опционально N2 (ст.л/мин) 0/4/12 7~100 4~50 4~50 4~50 4~12
Разъем питания HAN 3-40A H2MK-100A H2MK-100A H2MK-100A H2MK-100A H2MK-100A
Вес (кг) 69 480 480 750 820 900
Размеры (мм) 450х239х285 1310х620х682 1294x654x690 1310x620x1002 1294x620x1002 1294x620x1002

Скачать

Top