В сухих насосах серии GMR (Grand Medium Roots) используется новая интегрированная структура Рутса, которая имеет такие преимущества, как широкий диапазон регулирования азота и температуры, высокая коррозионная стойкость, низкое потребление энергии и компактность. Серия GMR предназначена для откачки химически агрессивных газовых смесей установок плазмохимического травления, снятия фоторезиста и других процессов производства микроэлектроники с применением хлор и фторсодержащих газов.
Основные особенности
- разработаны для «Light» и «Medium» процессов
- способны откачивать запылённые газовые смеси
- превосходные характеристики по предельному давлению
Технические характеристики
| Модель | GMR-200 | GMR-600 | GMR-1200 |
| Скорость откачки (м3/ч) | 220 | 680 | 1250 |
| Предельное давление (мбар) | 0,005 | 0,005 | 0,005 |
| Входной фланец (ISO) | 63 | 100 | 100 |
| Выпускной фланец (NW) | 25 | 25 | 25 |
| Напряжение питания (В) | 208/380 | 208/380 | 208/380 |
| Номинальная мощность (кВт) | 1,9 | 3,8 | 3,8 |
| Рабочая мощность (кВт) | 0,7 | 1,1 | 1,3 |
| Расход охл. жидкости (л/мин) | 1,9 | 2,1 | 2,1 |
| Поток газа продувки N2; (ст.л/мин) | 20~40 | 20~90 | 20~90 |
| Разъем питания | HAN 40A | HAN 40A | HAN 40A |
| Вес (кг) | 140 | 250 | 250 |
| Размеры (мм) | 695х290х434 | 695х290х706 | 695х290x706 |